Laiteresurssit

ESD/Latch up

• ESD/Latch-up-testeri Thermo Keytek Zapmaster Mk.2   
• ESD-simulaattori EMC Partner ESD 3000    
• Punnusanturit 2 kpl
• Rengasanturi

ESD

• Ionisaattori Simco Aerostat PC 
• Kentänvoimakkuusmittari Wolfgang Warmbier EFM 022 
• Varausanalysaattori Monroe 288 
• Nopea kentänvoimakkuusmittari Trek 400 
• ESD-ranneke- ja jalkinetesteri Armeka A-750 
• ESD-maadoitusmittarisarja Megger BMM2000-ESD-KIT/R  

Mikroskoopit yms.

• Stereomikroskooppi Leica MZ 16 Plan Apo  
• Mikroskooppikamera Deltapix Infinity X 
• Mikroskooppikamera Olympus ColorView IIIu 
• Röntgen Phoenix x-ray Nanome|x + CT 
• Emissiomikroskooppi Hamamatsu Phemos-1000 
• Kemiallinen mikroskooppi Millbrook MiniSIMS  

Virta/signaalilähteet

• Modulaarinen DC-power Agilent N6700A  
• 14-bit funktiogeneraattori/ARB Agilent 33220A 
• 6 GHz vektorisignaaligeneraattori Rohde & Schwarz SMU200A 
• 40 GHz signaaligeneraattori Anritsu MG3694B 

Mittarit 

• Elektrometri Keithley 6514
• Nanovoltti/mikro-ohmimittari Agilent 34420A 
• Kosteus-lämpötilaloggeri Testo 175 TH-2  
• Kosteus-lämpötilamittari Vaisala HM70 
• PCI-skooppikortti National Instruments PCI-4070 
• PCI Express DAQ-kortti National Instruments PCIe-6259 
• Oskilloskooppi Tektronix 7704B 
• Impedanssi/materiaalianalysaattori Agilent E4991A 
• Vektorispektrianalysaattori Agilent E4446A 
• Antennimittari Promax Prolink 4C 

Olosuhdetestauslaitteet

• Olosuhdekaappi Espec EGNX12-6CWL 
• Lämpötilapakotuslaitteisto Thermonics-2500E  

Komponenttien aukaisu

•  Komponenttien aukaisulaite Ultra Tec ASAP-1 

Näytteen valmistuslaitteisto

• Hionta-, hiertämis- ja kiillotuslaitteisto Labopol 6
• Vakuumimuovituslaitteisto Epovac
• 
  
• Kuuma- ja kylmävalutarvikkeet

Tietokonelaitteet ja ohjelmistot

• GPIB-Ethernet -muunnin Agilent E5810A 
• GPIB-Ethernet -muunnin National Instruments GPIB-ENET/100 
• Ohjelmointiympäristö National Instruments Labview 7.1 
• Ohjelmointiympäristö Agilent VEE 7.0 pro 
• Mittari"kirjasto" Agilent IntuiLink 
• Testo Comfort Software Basic PC
• MI70 Link Interface Software PC
• UPS APC BACK-UPS RS 1500VA 
• Wireless Ethernet Adapter ZyXEL ZyAIR G-405 

Muut

• Vahvistimet ja vaimentimet
• Kaapelit 
• kHz/MHz-mittauskortteja (PCI-express) ja USB2.0
• Esivahvistin, jännite- & kapasitanssijako 40 GHz
• Säädettävä alipäästösuodin 0.40 GHz

 ------------------------------------------------------------------------------------------

 Laitteistojen yksityiskohtaiset tiedot

ESD/Latch-up-testeri Thermo KeyTek Zapmaster Mk.2SE   

• Käyttötarkoitus
      - HBM, MM, Latch-up testaus
• Ominaisuudet:
      - 256 pinninen
      - 2 teholähdettä sekä oma teholähde "curve tracer"
      - Digitaaliset ajurit pinneille 
• Valmistajan kotisivut
      - Thermo   

ESD-simulaattori EMC Partner ESD 3000

• Käyttötarkoitus
      - ESD simulointi
• Ominaisuudet
      - 32 kV purkautumistaso
      - Yhden impulssin toimintatila
      - Paristokäyttöinen
      - Täyttää standardien määritykset (esim. IEC 610000-4-2, ISO TR10605, MIL 883, GR-78-CORE, RTCA DO 160-D, IEC 61340-3-1 ja MIL-STD-1512)
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - EMC Partner  

ESD

Ionisaattori Simco Aerostat PC 

• Käyttötarkoitus
      - Varauksien neutralointi
• Muuta
      - Lämmitys, portaaton pyörimisnopeuden säätö
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Simco  

Kentänvoimakkuusmittari Wolfgang Warmbier EFM 022

• Käyttötarkoitus
      - Sähkökentän voimakkuuden mittaus
• Muuta
      - Voidaan käyttää purkausaikamittarina
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Wolfgang Warmbier  

Varausanalysaattori Monroe 288

• Käyttötarkoitus
      - ESD-atmosfäärin paikallinen mittaus eli ilman sähkönjohtavuus (ionitiheys)
• Mitattavat suureet
      - Staattinen jännite, aika
• Muuta
      - Varaustasapainon mittaus
• Käyttöönottovuosi
      - 2004

Nopea kentänvoimakkuusmittari Trek 400 

• Käyttötarkoitus
      - Potentiaalin (jännitteen) mittaus materiaalin pinnasta ilman kosketusta kohteeseen
• Ominaisuudet
      - Mittausalue: 0 -> ±2kV DC tai huippu AC
      - Mittaustarkkuus (Voltage Monitor Output): < ±0.05% lukemasta ±0.5V
      - Näyttötarkkuus (Voltage Display): < ±0.1% lukemasta ±1digit
      - Stabiliteetti: Muuttuminen ajan suhteen
            alle 100ppm/tunti, ei kasva
            alle 100ppm/°C
• Käyttöönottovuosi
      - 2005  
• Valmistajan kotisivut
      - Trek  

ESD-ranneke- ja jalkinetesteri Armeka A-750 

• Käyttötarkoitus
      - ESD jalkineiden ja rannekkeiden säännöllinen testaus
• Ominaisuudet
      - Mittaustarkkuus ±5% lämpötila-alueella +15...+35°C
      - Testausjännite 24V
      - Raja-arvot 750 kΩ...35MΩ
• Kalibrointiyksikkö A755
• Käyttöönottovuosi
      - 2006
• Valmistajan kotisivut
      - Armeka

ESD-maadoitusmittarisarja Megger BMM2000-ESD-KIT/R

• Käyttötarkoitus
      - EPA-alueen maadoitusmittaukset
• Käyttöönottovuosi
      - 2007
• Valmistajan kotisivut
      - Megger  

Mikroskoopit yms.

Stereomikroskooppi Leica MZ 16 Plan Apo 

• Käyttötarkoitus
      - Vika-analyysit, yleiskäyttö
• Objektiivit
      - 1.6x PLAN APO ja 0.5x PLAN
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Leica  

Mikroskooppikamera Deltapix Infinity X 

• Käyttötarkoitus
      - Mikroskooppikamera 1.3/21 milj. pix
• Ominaisuudet
      - USB 2.0, TWAIN, liikkuva CCD
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Deltapix  

Mikroskooppikamera Olympus ColorView IIIu 

• Käyttötarkoitus
      - Mikroskooppikamera
• Käyttöönottovuosi
      - 2005

Röntgen Phoenix x-ray Nanome|x + CT 

• Käyttötarkoitus
      - Komponenttien, moduulien (jne) tutkiminen hajottamatta kohdetta
• Ominaisuudet
      - 2D-röntgenjärjestelmä
            Erottelukyky = 300nm
            Geometrinen suurennos = 2000x
            Avoin putki high power, microfocus ja nanofocus toiminnoilla
            Manipulaattori 5 akselia (x, y, z, tilt ja rotate)
            Digitaalinen detectori
            Korkean resoluution kamera = 1.3 MPix
      - µCT-järjestelmä
            Erottelukyky alle 3µm pienillä komponenteilla
• Käyttöönottovuosi
      - 2005

Emissiomikroskooppi Hamamatsu Phemos-1000 

• Käyttötarkoitus
      - Mikroskooppijärjestelmä mikropiirien ja transistoreiden vuotovirtojen, ESD- ja latch-up vikojen paikantamiseen.
• Ominaisuudet
      - Optinen järjestelmä macrolinssillä, 3x NIR linssillä, kuvantamislinssillä
      - Motorisoitu linssinvaihtaja macrolinssin ja mikroskooppi objektiivi linssien välillä
      - Kaksoispyyhkäisy CCD kamera jäähdytyksellä
      - Spektrin alue 300 nm – 1100 nm
      - Resoluutio 1024 x 1024 pixeliä
      - Pixelin koko 13 x 13
      - Valotusaika 1 s – 9999 s
• Käyttöönottovuosi
      - 2006
• Valmistajan kotisivut
      - Hamamatsu  

Kemiallinen mikroskooppi Millbrook MiniSIMS

• Käyttötarkoitus
      - Sekundääri-ionimassaspektrometri, jolla tutkitaan näytteen pinnan kemiallista koostumusta.
      - Käytetään komponenttitason vika-analyyseissä
• Ominaisuudet
      - Massa-alue 3-300 daltonia
      - Massan erottelukyky massa-alueella m/dm > 100@ = 100 daltonia (10 valley)
      - Massan tarkkuus massa-alueella parempi kuin ±0.2 daltonia
      - Herkkyys > 500 cps/nA 98Mo+ +98MoO
      - Kuvan tarkkuus
            Johtaville näytteille < 10µm
            Eristäville näytteille < 50µm
• Käyttöönottovuosi
      - 2006
  

Virta/signaalilähteet

Modulaarinen DC-power Agilent N6700A 

• Käyttötarkoitus
      - Virran ja jännitteen syöttö ja mittaus
• Ominaisuudet
      - Triggeri, virtuaalikanavat, 4 modulipaikkaa
• Modulit
      - N6762A tarkkuusmoduli
            100W, 0-51 VDC, 3A, 0.1mV askel
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Agilent   

14-bit funktiogeneraattori/ARB Agilent 33220A

• Käyttötarkoitus
      - Funktiogeneraattori / ARB
• Ominaisuudet
      - 14-bit, 20MHz, 64k, ARB
      - Tarkkuuskello, web-server, trig in/out, sync.
• Modulaatiot
      - AM, AF, PM, FSK, PWM
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Agilent  

6 GHz vektorisignaaligeneraattori Rohde & Schwarz SMU200A

• Käyttötarkoitus
      - RF-vektorigenerointi 6 GHz asti   
• Ominaisuudet
      - Yleisimmät digiaaliset modulaatios, custom-IQ
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - Rohde & Schwarz  

40 GHz signaaligeneraattori Anritsu MG3694B

• Käyttötarkoitus
      - Yleiskäyttö RF- ja MW
• Modulaatiot
      - AM, FM, vaihe, pulssi
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - Anritsu     

Mittarit

Elektrometri Keithley 6514               

• Käyttötarkoitus: 
      - Varausten, suurten resistanssien ja
      - Pienten virtojen tarkka mittaus esim. ESD-mittaukset.
• Mitattavat suureet:
      - DC-jännite 10µV < U < 200V
      - DC-virta 0.1fA < I < 20mA
      - Resistanssi 10mΩ < R 200 GΩ
      - Varaus 10fC < Q < 20µC
• Käyttöönottovuosi:
      - 2004
• Valmistajan kotisivut:
      - Keithley   

Nanovoltti/mikro-ohmimittari Agilent 34420A 

• Käyttötarkoitus:
      - Pienet jännitteet, pienet resistanssit ja jännitesuhde tarkasti
• Mitattavat suureet:
      - U, R
• Käyttöönottovuosi:
      - 2004
• Valmistajan kotisivut:
      -Agilent  

Kosteus-lämpötilamittari Vaisala HM70 

• Käyttötarkoitus
      - Kosteuden ja lämpötilan mittaaminen tarkasti
• Muuta
      - MI70 Link Interface Software PC ohjelma
• Käyttöönottovuosi
      - 2004 
• Valmistajan kotisivut
      - Vaisala  

PCI-skooppikortti National Instruments PCI-4070 

• Käyttötarkoitus
      - Nopea disk-stream (max. 1.8M/sek.)
      - Erikoista triggausta vaativat mittaukset
• Mitattavat suureet
      - AC, DC, AC + DC, ACI, DCI, R, taajuus, dioditesti
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - National Instruments

PCI Express DAQ-kortti National Instruments PCIe-6259 

• Käyttötarkoitus
      - Monikanavamittaukset ja -generointi
• Mitattavat suureet
      - 32 kpl analogiatuloja (± 10V)
      - 4 kpl analogialähtöjä (± 10V)
      - 48 kpl TTL-tasoisia I/O kanavia
      - 2 kpl 32-bit laskurit 80 MHz
• Tarkkuus
      - AI 7 rangea 16 bit, AO 2 rangoa 16 bit
• Impedanssi
      - AI 10 GΩ, AO 0.2 Ω
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - National Instruments  

Oskilloskooppi Tektronix 7704B 

• Käyttötarkoitus
      - Vika-analyysi, ESD-tutkimus ja opetus
• Ominaisuudet
      - 7.2 GHz, 20 Gs/s, DPO, 8MB muisti, Pinpoint triggerit
• Virtaprobet
      - CT-1, CT-2 ja CT-6
• Jänniteprobet   
      - P6139A 2 kpl, P7313 2 kpl
• Adapterit
      - TCA-1MEG 2 kpl, TYPE-N, BNC;SMA 4 kpl
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Tektronix  

Impedanssi/Materiaalianalysaattori Agilent E4991A 

• Käyttötarkoitus
      - Impedanssi- ja materiaalimittaukset
• Mitattavat suureet
      - Impedanssi |Z|, |Y|, L_s, L_p, C_s, C_p, R_s(R), R_p, X, G, B, D, Q, θ_z, θ_y, |Γ|, Γ_x, Γ_y, θ_γ
       - Permittiivisyys |ε_r|, ε_r’, ε_r’’, tanδ
      - Permeabiliteetti |μ_r|, μ_r’, μ_r’’, tanδ
• Mittausalue
      - 130mΩ < |Z| < 20kΩ
• Taajuusalue
      - 1MHz - 3 GHz, resoluutio 1 mHz
• Käyttöönottovuosi
      - 2004
• Valmistajan kotisivut
      - Agilent  

Vektorispektrianalysaattori Agilent e4446A 

• Käyttötarkoitus
      - RF-mittaukset 3 Hz....44 GHz
• Ominaisuudet
      - TDMA: GSM, GPRS, EDGE, Wi-MAX, TETRA, Bluetooth)
      - CDMA: W-CDMA sekä USA:n, Kiinan, Korean ja Japanin vastaavat)
      - CSMA-CA: WLAN, UWB
      - Multicarrier: OFDM
      - Demodulointi: FSK-, PSK- ja QAM-variaatiot
      - Optiot: 1DS, 219, 226, AYZ, B7J, H70
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - Agilent     

Antennimittari Promax Prolink 4C 

• Käyttötarkoitus
      - 75 ohm tv-antennit ja kaapelimittaukset
• TV-järjestelmät (lomitus, väritys, ääni)
      - PAL (Eurooppa)
      - SECAM (Ranska, Itä-Eurooppa)
      - NTSC (USA, Japani)
• Digitaalivirittimet (dekooderit)
      - TV: DVB-T (ilma), DVB-C (kaapeli), DVB-S (satelliitti)
      - Radio: NICAM, RDS
• Mittaukset
      - BER-mittaus, tehomittaus, skalaarispektri, QAM ja OFDM konstellaatiokuvat, signaali-kohinasuhde
• Muuta
      - Akkukäyttöinen, värinäyttö, mastovahvistimen DC-syöttö, maksukortti, kaiutin, scart-liitin
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - Promax  

Olosuhdetestauslaitteet

Olosuhdekaappi Espec EGNX12-6CWL

• Käyttötarkoitus
      - Olosuhdetestaus, luotettavuustestaus
• Ominaisuudet
      - Lämpötilan muutosnopeus 10ºC/m
      - Lämpötila-alue -70ºC -> 180ºC
      - Kosteusalue 10-95%
• Kammion koko 380 L (600mm x 742mm x 850mm)
• Käyttöönottovuosi
      - 2006
• Valmistajan kotisivut
      - Espec

Thermostreamer Thermonics-2500E 

• Käyttötarkoitus
      - Testit eri lämpötiloissa, voidaan käyttää yhdessä Zapmaster Mk.2:n kanssa
• Ominaisuudet
      - Lämpötila-alue -80ºC -> +225ºC
      - Nopeus +125ºC -> -55ºC 10 sekuntia
• Käyttöönottovuosi
      - 2005
• Valmistajan kotisivut
      - Thermonics  

Komponenttien aukaisu

Komponenttien aukaisulaite Ultra Tec ASAP-1 + Ultracollimator

• Käyttötarkoitus
      - Mekaaninen komponenttien aukaisu
• Ominaisuudet
      - Voidaan aukaista komponentti sekä ylä- että alapuolelta
      - Aukaistava komponentti voi olla juotettuna piirilevylle aukaisun aikana
      - Tyypillisiä aukaistavia kotelointeja/materiaaleja ovat mm. BGA, QFP, PGA, keraami, muovi, flip ship
• Käyttöönottovuosi
      - 2006
• Valmistajan kotisivut
      - Ultra Tec